Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI概述：

差分干涉儀允許測(cè)量相對(duì)于定義參考對(duì)象的位置變化。

差分發(fā)射頭具有光學(xué)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)極低的SDE性能。內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡可在設(shè)定過(guò)程中實(shí)現(xiàn)俯仰和扭擺角度調(diào)整，從而改進(jìn)準(zhǔn)直過(guò)程（僅適合平面鏡應(yīng)用）。

RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過(guò)一個(gè)簡(jiǎn)單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無(wú)需進(jìn)入工作腔即可校正光路，內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡可對(duì)參考和測(cè)量光束的俯仰和扭擺進(jìn)行獨(dú)立的調(diào)整，安裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)允許拆卸發(fā)射頭和調(diào)整發(fā)射頭位置，對(duì)系統(tǒng)準(zhǔn)直的影響極小。

特性與優(yōu)點(diǎn)：

測(cè)量性能-ppb穩(wěn)頻精度，超低周期誤差，輸出分辨率達(dá)到38.6pm。

差分配置-測(cè)量運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相對(duì)于安裝立柱的位移，從而消除常見(jiàn)模式誤差，例如與環(huán)境波動(dòng)有關(guān)的工作區(qū)側(cè)壁移動(dòng)。

快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直-采用四個(gè)內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡，很簡(jiǎn)單地在真空室外部進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整，從而消除真空室和鏡組安裝公差。

通常使用雷尼紹RLU20來(lái)配置差分干涉儀發(fā)射頭。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結(jié)合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能，必將成為真空室和其他空調(diào)嚴(yán)格控制環(huán)境中的應(yīng)用的理想選擇。