Festo 費斯托在半導體行業中的解決方案

Festo – 為半導體行業提供一站式解決方案

在半導體制造這個快節奏的世界里，精確度至關重要。半導體行業由技術進步所推動，任何微小的變化都可能對產品的質量和性能產生重大影響。而氮氣吹掃技術就是這一領域的無名英雄，為半導體生產過程帶來了眾多益處。

氮氣吹掃的優勢與半導體材料本身一樣。通過利用氮氣的特性，你可以實現更高的產量、更優的產品質量、更長的設備使用壽命，以及更安全、更可持續的生產過程。想要了解如何實施氮氣吹掃系統以減少高達4%的碳排放量。

產品一：

質量流量調節閥 VEMD、

得益于比例閥，動態質量流量調節閥 VEMD 運行噪音極低。 帶傳感器的集成式電子元件按比例對空氣、氧氣、氮氣、氬氣和二氧化碳的流量進行檢測、調節和計量。

質量流量調節閥 (MFC)，帶熱流量傳感器和集成控制電子裝置

動態調節，響應時間短

工作介質：空氣、氧氣、氮氣、氬氣、二氧化碳

當前流量值可通過接口獲得

適用于許多需要調節惰性氣體或氧氣的應用

通過高效控制實現可持續運行

產品二：

用于 VYKA 的電氣連接元件 VAVE-K1

用于介質分離式電磁閥 VYKA

帶保持電流降低功能

應用：控制和調節冷卻回路

您面臨的挑戰：在半導體制造過程中可靠地調節冷卻液

Festo 的解決方案：

閥島 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介質的氣控閥

CPX-MPA 型閥島如果需要額外的 I/O，例如用來控制電控閥、集成傳感器或創建閉環控制回路。此閥島還可用于執行診斷和遠程維護功能。

氣控或電控 閥 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控制介質流量。即使在閉環控制回路中，也能可靠、準確地調節非常冷和/或熱的介質。

角行程驅動器 DFPD (4)驅動 球閥 VZBF (5)以及通常用于冷卻或溫度控制介質的主管線和進/出管線的大流量翻板閥。

SFAW (2) 和 SPAW (6)型傳感器非常準確地測量介質流量以及溫度和壓力。

Festo 為制造電子元件的機器提供了廣泛的產品組合：具有集成安全功能的閥島 VTOC 或我們的比例壓力閥 VEAA/VEAB（用于對通常控制或調節工藝氣體的介質閥進行先導控制）。

閥島 VTOC

緊湊型先導閥島適用于各種氣動應用。加上互鎖選項，提高安全性。VTOC通過多針或現場總線接口控制，也適用于10-Link®,

比例壓力閥 VEAA

壓電技術使 VEAA 極其精確，使用壽命長，壓力范圍高達 10bar。其他優點包括極短的切換時間、安靜的運行和極低的功耗。

比例壓力閥 VEAB

壓電技術使 VEAB 極為精確，使用壽命長，壓力范圍高達6bar。其他優點包括極短的切換時間、安靜的運行和極低的功耗。